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随着科技的不断进步与创新，新质生产力已成为推动社会发展的重要引擎。在这一大背景下，微导纳米，作为中国领先的半导体及泛半导体高端微纳装备制造商，始终紧随科技发展潮流，积极强化技术研发与革新，为半导体产业的持续进步和发展做出了卓越的贡献。
近日，微导纳米成功研发出首台适用于大面积百兆瓦钙钛矿电池生产的专用量产型原子层沉积(ALD)设备，并已顺利发货至业内领军企业。这一重要进展不仅实现了在大面积玻璃基底钙钛矿技术领域的应用，而且完成了公司在钙钛矿电池领域的又一关键产业化布局。此举标志着该类钙钛矿电池技术专用ALD设备正式迈入产业化验证的新阶段，对于推动行业技术进步和产业发展具有重要意义。
ALD属于CVD的分支。ALD技术是一种基于气相化学反应的薄膜沉积方法，其工作原理是通过前驱体分子在表面的化学吸附、分解和产物去除等步骤，从而实现对薄膜厚度和成分的精确控制，在柔性电子、MEMS、催化及光学器件等高科技领域展现出了令人瞩目的产业化前景。自1974年瑞典科学家Tuomo Suntola首次发现这一独特的薄膜沉积技术并将其命名为原子层外延(ALE)以来，ALD技术便以其独特的优势在科技界引起了广泛关注。
作为一种极具普适性和创新性的真空镀膜技术，ALD技术在制备高质量、高性能的薄膜材料方面具有独特的优势。同时，ALD技术还表现出极高的台阶覆盖率和出色的沟槽填充性能，使其成为在45nm以下节点和3D结构等先进半导体薄膜沉积环节中不可或缺的关键技术。
随着半导体行业的迅猛发展，ALD技术在集成电路制造中的应用日益广泛。在摩尔定律的推动下，集成电路的特征尺寸不断缩小，刻蚀沟槽也变得越来越精细。这使得ALD技术在实现高精度、高可靠性的薄膜沉积方面发挥着越来越重要的作用。据SEMI行业统计数据显示，未来几年，半导体薄膜技术领域中，ALD市场的复合增长率预计将高达26.3%，这一增速远超过了半导体设备行业的平均水平。
此外，随着终端应用需求的不断增长，进口替代和自主可控成为了国内半导体行业发展的重要驱动力。在这一背景下，国内晶圆厂纷纷加大逆周期扩产和工艺迭代升级的力度，以加速国产薄膜沉积设备的产业化验证进程。这不仅为ALD技术在国内市场的应用提供了广阔的空间，也为国内半导体行业实现自主创新和技术突破提供了有力支持。
可以确定，ALD技术凭借其独特的原子层级沉积特点和在多个高科技领域的广泛应用前景，正逐渐成为半导体产业发展中不可或缺的关键技术。随着摩尔定律的持续推进和终端应用需求的不断增长，ALD技术将在未来发挥更加重要的作用，为半导体产业的创新和发展注入新的活力。
微导纳米是一家以原子层沉积(ALD)技术为核心，结合CVD等多种真空薄膜技术的企业，专注于全球半导体和泛半导体高端微纳装备的研发与生产。公司业务广泛涉及光伏、LED、集成电路以及MEMS等泛半导体相关领域，同时深入新能源和柔性电子领域。公司提供的主要产品包括应用于光伏电池、硅基微显示、逻辑芯片、存储芯片、化合物半导体和3D封装等半导体及泛半导体领域的专用设备和成套技术。此外，公司还为柔性电子和新一代高效太阳能电池整线提供量产解决方案。
在半导体领域，微导纳米是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积(ALD)设备应用于28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备供应商。公司与国内多家厂商建立了紧密的合作关系，产品广泛应用于逻辑、存储、化合物半导体(第三代半导体)、新型显示(硅基OLED)等多个细分领域。多项设备关键指标已达到国际先进水平。尤其在存储领域的客户拓展方面取得了显著成效。公司在化合物半导体与新型显示领域等细分领域的市场开拓处于起步阶段。ALD设备已陆续获得了如京东方、合肥视涯、浙江宏禧等新型显示硅基OLED厂商以及化合物半导体领域内多家知名客户的订单，并顺利出货。其中，部分产品已获得客户验收，并取得重复订单。截至2023年9月30日，公司半导体在手订单同比增长412.15%，保持着高速发展的态势。
在光伏行业领域，微导纳米公司以其前瞻性的技术布局，成为国内首家成功将原子层沉积(ALD)技术规模化应用于光伏电池生产的企业。凭借其在高效电池技术与设备方面的卓越表现，微导纳米已成为行业内的领军企业之一，并与国内顶尖的光伏厂商建立了稳固的长期合作伙伴关系。其客户群体已广泛覆盖通威、隆基、晶澳、阿特斯、天合光能等众多知名太阳能电池片生产商，充分展现了其在行业中的强大影响力和广泛认可度。
近年来，中国钙钛矿电池行业受到各级政府的高度重视和国家产业政策的重点支持。国家陆续出台了多项政策，鼓励钙钛矿电池行业发展与创新。2023年9月，国家能源局发布《关于组织开展可再生能源发展试点示范的通知》，钙钛矿及叠层太阳能电池被列入示范工程。2023年11月，工信部等五部门发布《关于开展第四批智能光伏试点示范活动的通知》，优先考虑方向中包括钙钛矿及叠层太阳能电池。
钙钛矿太阳能电池(PSCs)是第三代高效薄膜电池的代表，凭借良好的吸光性、电荷传输速率、巨大的开发潜力，实现了高效率、高柔性、低成本，被誉为“光伏领域的新希望”。钙钛矿太阳能电池还可通过与HJT叠层进一步提升光电转换效率，是未来产业化的重点发展方向。
近年来，头部企业加大研发投入，除了当前主流的TOPCon电池技术之外，新兴的光伏技术，如异质结(HJT)、背接触(BC)和钙钛矿太阳能电池，也正在研发、中试。当前，国内已有近二十多家企业宣布钙钛矿太阳能电池投资计划，行业内已有3条100MW级别钙钛矿产线投产，钙钛矿太阳能电池产业化进程提速。中商产业研究院分析师预测，2024年中国钙钛矿电池新增产能将达2GW，2030年将达161GW。技术更迭推动ALD技术在新一代高效电池设备中投资比重增加，大幅度提升了ALD设备在光伏领域的市场渗透率。公司紧密跟随下游厂商的量产步伐，不断优化XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等新一代高效电池技术，以满足市场日益增长的需求。
本次向国内客户提供的专用量产型ALD设备，主要应用于钙钛矿电池SnO2薄膜的制备。该设备克服了此镀膜工艺需要的低温、无损、大面积均匀制备等工艺难点，创新设计大面积ALD反应腔体，实现了钙钛矿产业化工艺节拍要求;重点优化的流场设计和前驱体区隔系统，满足了钙钛矿电池量产所需的膜厚均匀性等多项技术指标要求。同时，在整线集成和量产性上，微导纳米结合多年的产业化实践，在产品设计的同时考量工艺维护场景，设备可实现简单高效、低成本运行，满足客户自动化订制的需求。
目前，微导纳米已投入研发并推出多款适用于钙钛矿不同技术路线的专用薄膜设备平台，全面覆盖晶硅钙钛矿叠层路线、大面积玻璃基底钙钛矿路线和纯柔性钙钛矿三条主流技术路线、NiOX、ITO、C60和高水氧阻隔等不同膜层的产业化量产装备。微导纳米所具备的真空镀膜装备和工艺开发的核心优势，将极大提高客户的技术能力和盈利能力，赋能稳定、安全、高效生产。
未来，随着人工智能、自动驾驶、虚拟现实、柔性电子等新兴产业加速发展，公司还在不断探索在新兴产业应用领域进行薄膜工艺相关专用设备和技术的研发(如ALD技术在车载芯片封装技术的应用)，并逐步开展产品应用验证，持续推动新兴产业的技术进步，助力客户在相关领域保持行业领先地位。
根据公开的市场数据，微导纳米的ALD产品在营收规模、订单总量及市场占有率方面连续多年蝉联国内同类企业之首。
Maximize Market Research预计全球半导体薄膜沉积设备市场规模在2025年将从2020年的172亿美元扩大至340亿美元，保持年复合13.3%的增长速度。同时，根据SEMI预测，2020年至2025年，全球半导体薄膜沉积设备中ALD设备的复合增长率预测为26.3%，预计高于整体半导体薄膜沉积设备市场的增长率。随着半导体工艺的不断进步，ALD设备市场规模展现出更为显著的增长态势。
中国整个薄膜沉积设备领域98%依赖进口，国产化率仅有2%，未来替代空间巨大。根据国内半导体设备市场占全球市场26.29%及ALD占薄膜沉积设备市场比例约为18%的比例进行保守测算，2020年及2025年国内市场ALD市场规模分别约为8.14亿美元和16.10亿美元。
在上述背景下，微导纳米所处的产业领域展现出新兴且持续演进的特性，其中孕育了丰富的机遇与考验。凭借所拥有的尖端核心技术，微导纳米已成功研发并推出多款创新产品，为其业绩的稳健与持续增长打下了坚实的基础。展望未来，相信公司将继续以客户需求为指引，紧密跟踪行业发展趋势，致力于为客户提供卓越的产品性能、出色的用户体验以及超出预期的价值回馈