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集微网报道，半导体产业链中，半导体设备扮演着十分重要的角色。半导体设备按应用领域主要可分为两大类：前道晶圆制造和后道封装测试。其中，前道晶圆制造涉及的主要设备包括热处理设备、光刻设备、涂胶显影/去胶设备、刻蚀设备、离子注入设备、薄膜沉积设备、清洗设备等。后道封装测试设备包括传统封装的贴片机、减薄机、划片机、贴片机、引线键合机、塑封机及切筋成型机等。另外，随着先进封装的发展，用于光刻、刻蚀、沉积、电镀、CMP等的多种前道设备也用于封装工艺中。相关技术集合了多学科的尖端技术。
近日，国际半导体产业协会（SEMI）发布了《年终总半导体设备预测报告》，预计今年年底全球半导体制造设备销售额将达到1000亿美元，较2022年的1074亿美元下降6.1%。对于半导体设备厂商而言，在全球需求疲软的市场行情下，以技术的优势保持竞争力愈发的重要。
而专利实力往往是企业技术创新水准与市场话语权的重要体现，国内半导体设备企业对其核心技术进行全面的专利布局，能够在该领域占据更有利的竞争地位。爱集微知识产权咨询对中国半导体设备领域企业的专利情况进行了全面梳理，权威发布中国半导体设备领域企业专利榜单，度解读企业专利现状，为公众和投资机构了解中国半导体设备领域企业的技术竞争力提供直观的参考。
1、除另有说明外，专利数据包括“企查查“统计的相关企业“持股比例”或“对外投资比例“50%以上主体的专利数据；
2、数据统计公开/公告日截至2023年9月30日的专利数据，来源IncoPat专利数据库，爱集微知识产权咨询整理；
4、各企业间基于相同的规则比较，但数据库收录的数据源、检索方法设定等因素均有可能造成数据结果的偏差，爱集微知识产权咨询保留最终解释权。
爱集微知识产权咨询从专利类型布局、有效性和境外布局、文献、法律和经济等五个维度选取客观指标，基于合理的权重生成爱集微专利价值度评分，用以量化企业专利的价值高低。相对于单纯以专利数量排名，爱集微专利价值度提供了更加客观的专利评估指标。爱集微知识产权咨询根据企业的专利数量和爱集微专利价值度评分，计算得到各企业专利创新实力的分值，在此基础上发布中国半导体设备领域企业专利创新实力榜TOP20。
中国半导体设备领域企业专利创新实力榜TOP20中，北方华创连续两年拔得头筹，得分大幅领先其他企业，其专利总量5900件，相比于去年同期，新增公开或授权专利近800件。上海微电子、中科院光电所和中微公司位于榜单第二梯队，总分也领先于其他企业。第一、第二梯队企业基本上与去年同期统计情况一致。其中，上海微电子和中科院光电所的专利总量分别位列第二和第三，爱集微专利价值度分别为0.50和0.43，专利创新实力不俗。
中微公司排名第四，尽管总分落后于前三名，但中微公司的爱集微专利价值度为0.63，相比于前三名，虽然专利数量较少，但在专利价值上具有一定的竞争力。屹唐半导体、苏大维格和华兴源创分列第五至七位，专利创新实力分值分别为743、532、515。其中，相比于去年同期统计数据，苏大维格在专利创新实力方面的进步明显。
排名第8至11位由中电科第48所、中电科第45所、盛美半导体、赛腾精密占据，总分处于440-460之间，专利创新实力旗鼓相当。
TOP20企业中，专利创新实力分值400分以下的有9家。分别是捷佳伟创、拓荆科技、至纯科技、连城数控、天准科技、华海清科、长川科技、中科飞测、真芯半导体。
企业在境外获得专利保护可为其产品进入境外市场保驾护航，能够提升产品的市场地位和竞争优势，因此，境外专利布局对企业参与全球市场竞争与拿到国际市场话语权具有重大意义。爱集微知识产权咨询针对境外专利布局的统计数据，发布了中国半导体设备领域企业国际视野榜TOP10。
国际视野榜TOP10中，屹唐半导体表现最为亮眼，其境外专利占比高达84%，这与去年的同期的统计情况一致。屹唐半导体的境外专利较多来自于其收购的Mattson Technology Inc.（MTI）。
从境外专利布局数量上来看，除屹唐半导体外，北方华创和上海微电子、中微公司的数量相当并显著高于其他企业，与去年同期统计的情况一致，这也体现了三家国内半导体设备龙头厂商对境外市场知识产权的一贯重视。此外，盛美半导体、众硅电子虽然目前境外专利布局数量相对较少，但境外专利占比均超过40%，盛美半导体更是高达49%，显示出这些企业具有较高的全球化视野。
专利被引用数量的多少和专利被引用占比的高低可以反映出企业披露的专利对应的技术方案的研究热度和业内关注活跃度，侧面反映出企业专利的技术先进性和对行业的贡献程度。爱集微知识产权咨询基于各企业被引用专利数量和被引用专利占比的合理权重，生成行业影响力得分，并发布中国半导体设备领域企业专利行业影响力榜TOP10。
行业影响力榜TOP10中，上榜企业的专利被引用比例均超过30%，其中赛腾精密、苏大维格和中电科第48所位列三甲，在专利被引用专利数量与专利被引用比例上具有优异的综合表现，表明其专利披露的技术内容受到业内的广泛关注。其中，苏大维格本年度首次进入前三甲之列，体现出其近一年来在知识产权成果方面的进步。第4至10名中，中科院光电所的被引用专利数量最高，体现了其专利技术产出的强大；而华盛天龙虽然被引用专利总量较低，但被引用专利在所有专利中的占比最高，在一定程度上体现了其专利技术的“精品化“优势。
近些年，随着国内半导体行业的高速发展，产业需求不断提升，使得半导体设备领域也不断涌现很多创新实力强劲的科技型企业，不容小觑。爱集微知识产权咨询选择了2014年9月以后成立的半导体设备领域企业，基于各企业专利年产出数量和爱集微专利价值度的合理权重，生成新秀榜得分，并发布中国半导体设备领域企业新秀榜TOP20。
从专利新秀榜TOP20可以看出，屹唐半导体以149件的专利年产出量以及0.62的爱集微专利价值度评分蝉联第一。并且，相比于去年同期数据，屹唐半导体在专利年产出量与爱集微专利价值度评分上均有一定的提升，体现出其在新秀企业中的知识产权实力绝对优势。另外，在专利数量与专利年产出量方面，真芯半导体优势明显；然而，真芯半导体爱集微专利价值度评分偏低。中科飞测与鲁汶仪器的专利数量与专利年产出量均具有一定竞争力。而隐冠半导体与众硅电子尽管相对而言专利产出量并不占优势，但爱集微专利价值度评分高于其他企业，可作为其专利质量的反映。
专利年产出数量可侧面体现一家企业的专利和技术实力，结合爱集微专利价值度可综合评价该企业的创新竞争力，为业内同行或投资企业提供参考。
本次发布的榜单针对中国半导体设备领域企业，各家企业的产品涵盖清洗、光刻、CMP、PVD、CVD、刻蚀、热处理、去胶、涂胶显影、离子注入、量测等不同领域的设备，由于技术的难易度以及企业历史与规模等多方面的因素，体现在分值上具有较大的差异。公众可通过各个企业间的数据对比，作为企业的技术创新能力、知识产权的重视程度和投入的参考。