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证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米(688147)公布了一项国际专利申请，专利名为“一种喷淋组件、半导体设备及晶片的加工方法”，专利申请号为PCT/CN2023/110761，国际公布日为2024年3月14日。
今年以来微导纳米已公布的国际专利申请3个。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6390.04万元，同比增3.34%。
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