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据外媒报道，在美国联合日本、荷兰升级对于半导体设备的出口限制之后，美国正要求荷兰盟友对中国芯片制造设备的维护施加更多限制。
美国商务部负责工业和安全的副部长Alan Estevez表示：“我们正在与我们的盟友合作，确定什么对服务重要，什么对服务不重要。我们正在推动不对这些关键部件提供服务，因此我们正在与盟友进行讨论。”他补充说，美国并不打算限制设备供应商维护更多中国企业能够自行修复的外围部件。
对于半导体设备来说，要想持续稳定在半导体制造产线上运行，设备的维护极为的关键。如果这些设备离开了售后维护，甚至可能会在一周之内就会出现问题。同样，设备的一些核心零部件也需要定期更换。据芯智讯了解，ASML光刻的工件台对准定位用的部件，一般来说，两年就需要更换。
因此，国内的晶圆制造商如果想要维持产线的生产的稳定，产线上的ASML光刻机的核心部件的供应和维护极为关键。
不过，需要指出的是目前ASML受限的光刻机主要是NXT:2000i及更先进的机型，其他未受限的光刻机型销售和维护是没有受到影响。当然，如果相关设备零部件涉及美国技术来源，则会受到美国的出口限制。
虽然据芯智讯了解，ASML在国内拥有一个维修中心，可以对于一些关键零部件进行维修，但是如果相关零部件属于进口受限的，当国内光刻机相关属于进口受限的部件损坏后无法修复，也就无能为力。
对于中荷双方来说，在去年年底前已经出口到中国的NXT:2000i及更先进的光刻机机型，随着许可的失效以及美方的进一步施压，ASML后续能否继续为这类设备提供维护则是一个悬而未决的问题。
3月26日到27日，荷兰首相吕特在中国展开工作访问期间，关于光刻机的相关议题也就成为了外界极为关注的议题。
据商务部网站消息，3月27日，商务部部长王文涛在京会见来访的荷兰外贸与发展合作大臣范吕文。双方重点就光刻机输华和加强半导体产业合作等议题深入交换意见。商务部副部长兼国际贸易谈判副代表凌激参加会见。
王文涛表示，今年是中荷建立开放务实的全面合作伙伴关系十周年。在两国战略引领下，中荷经贸关系稳步发展。中方赞赏荷方坚持自由贸易，视荷方为可信赖的经贸伙伴，希望荷方秉持契约精神，支持企业履行合同义务，确保光刻机贸易正常进行。要防止安全泛化，共同维护全球半导体产业链供应链稳定，推动双边经贸关系持续健康发展。
范吕文表示，荷兰以贸易立国，主张自由贸易，高度重视对华经贸合作。中国是荷兰最重要的经贸伙伴之一，荷兰愿继续做中国可靠的合作伙伴。荷兰出口管制不针对任何国家，所做决定基于独立自主的评估，并在安全可控前提下尽可能降低对全球半导体产业链供应链的影响。期待两国进一步拓展绿色转型、养老服务等领域合作。
另据外媒报道，范吕文在当地时间3月26日接受荷兰媒体采访时曾表示，他将捍卫ASML的利益视为首要任务。但他也表示，“我们和合作伙伴的因素会放在经济利益之前。”
荷兰首相吕特3月27日在访问中国期间淡化了中荷之间在ASML制造的设备出口限制问题上的冲突。吕特拒绝回答关于荷兰政府是否会拒绝向ASML颁发许可证，让其继续为这些中国客户提供维护服务的问题。美国方面希望荷兰拒绝发放许可证。
吕特说：“当涉及到我们的半导体行业和像ASML这样的公司时，当我们不得不采取（出口限制）措施时，荷兰会确保这些措施绝不会专门针对某个国家，我们总是努力确保影响是有限的。”