SEMICON CHINA 是中国首要的半导体行业盛事之一,它囊括当今世界上半导体制造邻域主要的设备和材料厂商。2021年3月17日,SEMICON CHINA 2021在上海新国际博览中心隆重召开。上海赛可检测设备有限公司(SEC)也携其X-RAY和电镜产品亮相SEMICON CHINA 2021。
上海赛可检测设备有限公司是韩国赛可检测设备有限公司(SEC)在中国的子公司。据了解,韩国赛可于1991年在韩国水原市成立,专业从事工业在线半导体封装设备、X-RAY检测机、SEM(台式扫描电镜)和加速器四类产品的研发和生产。本次SEMICON CHINA 2021展会带来的是在半导体封装测试中使用最多的X-RAY和电镜产品。而在本次展会上,我们有幸采访了上海赛可检测设备有限公司总经理丁光声。
SEC公司自1991年创业至今到现在,已经历30多年的历史。 SEC在创业初期的10年间以自动化生产设备为主要产业项目不断发展壮大。1999年研发并生产LCD驱动芯片贴片回流封装设备在韩国LTD领域封装设备市场一举占领70%的市场份额。 2000年开始着手研发SMT行业的新兴设备X射线检测设备和扫描电子显微镜,并于2002年完成了X射线检测设备的研发并成功推上市场。赛可在韩国的客户覆盖了三星、LG、SK-海力士等知名半导体厂和电子厂,在国外也获得了AMKOR等客户。
兼容2D,3D的晶圆级X-RAY检测机赛可的X-RAY检测机广泛应用于半导体封装中的内部缺陷检测,主要分为“开放式光管”和“封闭式光管“两大类,是韩国第一家也是唯一一家能生产X-RAY核心部件光管的企业,相关技术处于世界领先的地位。赛克的晶圆级检测设备如NF120搭载了200nm级别开管式光管以实现无损检测。丁光声表示,相比于同类型产品,赛可的晶圆级检测设备采用脉冲式照射,大大减少了X射线对检测样品的损伤。
具有-45°~90°倾斜度的钨灯丝小型化扫描电镜作为韩国首家台式电镜生产厂家,赛可先后开发出了SNE-3200M、SNE-3000MS和SNE-4500M Plus型号的台式扫描电镜。
赛可最新的SNE-4500M Plus台式扫描电镜实现了落地式钨灯丝扫描电镜的小型化,可以更真实地反应出样品表面形貌信息,对不耐电子束辐照的样品损伤小。由于加速电压范围宽,这款仪器适合各种样品的形貌观察及元素分析。此外,这款仪器还能实现二次电子和背散射电子同时成像,兼具高、低真空模式,标配五轴全自动马达台,有利于多角度精细地观察样品,具有-45°~90°大范围的倾斜角度,可以在不更换特定样品台的情况下直接进行截面观察。
从抽检到全检,SEC将发力电池行业2009年,赛可在中国设立办事处,并随着韩国半导体企业在中国设厂而进入中国市场。2018年底,赛可在上海成立分公司,主攻中国国内企业,以求进一步打开中国市场。据介绍,赛可在中国的客户主要是半导体产业的三星、SK-海力士、UTAC等企业,去年更是获得了江阴长电的晶圆级X-RAY订单。
谈到中国封测产业的未来发展时,丁光声表示,随着芯片越来越小,性能越来越高,对先进封装的要求也越来越高,未来封测将由抽检转向全检,同时对全检的要求也将越来越高。伴随着中国工厂的技术飞速进步,封装在线检测设备在中国将迎来快速发展。未来,赛可在中国将发力与新能源产业紧密相连的电池行业。