于7月底完成了新一轮数千万元融资,资金将用于晶圆边缘检测设备SICE200、晶圆电阻率量测设备SICV200、晶圆位错及微管检测设备SICD200、多种半导体材料膜厚测量设备Eos200DSR等多款设备的量产,新布局产品的研发以及团队的扩充。
一塔半导体(ETA-Semitech)在6月初完成数千万Pre-A轮融资。一塔半导体致力于半导体制程设备的研发,目前已成功研发外延系统(MOCVD)和退火系统(激光退火/RTP),拥有碳化硅/氮化镓外延生长方案,快速热处理(RTA)、热氧化(RTO)、热氮化(RTN)、离子注入退火、金属合金、功率芯片背面激光退火等解决方案。
5月,同在三代半封测设备赛道的中科光智完成了数千万元A轮融资。该笔资金主要用于强化公司半导体封装产品矩阵,加强研发、生产及销售体系建设。中科光智自主开发了一系列封装设备产品,主要包括微波等离子清洗机、真空共晶回流焊炉、SiC芯片封装设备和惰性气体手套箱等,覆盖了半导体芯片后道封装的关键工艺环节所对应的设备需求。
此外,谦视智能、邑文科技、中锃半导体、季华恒一、盖泽科技、思锐智能也在今年上半年相继获得了新融资。