3月20日,杭州镓仁半导体有限公司宣布,公司联合浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院、硅及先进半导体材料全国重点实验室,采用自主开创的铸造法于今年2月成功制备了高质量6英寸非故意掺杂及导电型氧化镓单晶,并加工获得了6英寸氧化镓衬底片。
氧化镓作为一种超宽禁带材料,称之为半导体材料。镓仁表示,基于上述成果,镓仁也成为了国内首个掌握6英寸氧化镓单晶衬底制备技术的产业化公司。
据介绍,此次制备6英寸氧化镓衬底采用的铸造法,具有以下显著优势:一是铸造法成本低,由于贵金属Ir的用量及损耗相比其他方法大幅减少,成本显著降低;二是铸造法简单可控,其工艺流程短、效率高、尺寸易放大;三是铸造法拥有完全自主知识产权,中国和美国专利已授权,为突破国外技术垄断,实现国产化替代奠定坚实基础。
就氧化镓衬底方面来看,日本的NCT目前占据领先地位。但随着国内企业制备氧化镓衬底的技术升级和产能提升,总体呈现追赶态势,后续有望获取更多的氧化镓市场。